17 Zhong M. Li J. H. Li B. Tian C. X. Xiang X. Zhou C. Yang W. F. гелий-ионная имплантация плавленый кварц фотолюминесценция рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия инфракрасный 2021 2021-05-28 Журнал прикладной спектроскопии Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1.5×1017 см-2. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛзначительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца. https://www.academjournals.by/publication/15695 https://www.academjournals.by/files/15651