Создание оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористого германия распылением ионами висмута

Степанов А. Л.; Рогов А. М.; Сотникова В. Ф.; Валеев В. Ф.; Нуждин В. И.; Коновалов Д. А.

Создание оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористого германия распылением ионами висмута

Степанов А. Л., Рогов А. М., Сотникова В. Ф., Валеев В. Ф., Нуждин В. И., Коновалов Д. А.

2026

Предложен метод для создания оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористых слоев германия (Ge) методом распыления ионами Bi+ подложки монокристаллического c-Ge при энергии E = 18 кэВ, плотности тока в ионном пучке J = 5 мкA/см2 и интервале доз D = 2.5 × 1016—1.0 × 1017 ион/см2 через сетчатую медную маску с размером квадратных ячеек 20 мкм. В процессе ионного облучения в немаскированных областях облучаемого c-Ge происходит распыление c-Ge и образования нанопористого слоя Bi:PGe. Формирование периодических микроструктур Bi:PGe на поверхности c-Ge контролировалось методами оптической, электронной и зондовой микроскопии. Функционирование дифракционной решетки показано путем ее зондирования излучением гелий-неонового лазера на длине волны 632.8 нм оптического спектрального диапазона.

Степанов А. Л., Рогов А. М., Сотникова В. Ф., Валеев В. Ф., Нуждин В. И., Коновалов Д. А. Создание оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористого германия распылением ионами висмута. Журнал прикладной спектроскопии. 2026;93(1):128-132.

Цитирование

Список литературы

1. H. Zhu, Z. Zhang, J. Xu, Y. Ren, Z. Zhu, K. Xu, Z. Wang, C. Wang. J. Manufact. Process., 69 (2021) 351—367, doi: 10.1016/j.mapro.2021.07.056

2. X. Zhu, S. Li, A. Sun, Y. Pan, W. Liu, Y. Wu, G. Zhang, Y. Shi. Beilstein J. Nanotechnol., 14 (2023) 478—484, doi: 10.3762/bjinano.14.38

3. Z. Zhou, W. Liu, Y. Guo, H. Huang, X. Ding. Coatings, 12 (2022) 1653(1—13), doi: 10.3390/coatings12111653

4. D. Cavalcoli, M. A. Fazio. Mater. Sci. Semicon. Proc., 92 (2019) 28—38, doi: 10.1515/nanoph-2020-0455

5. J. Song, S. Yuan, C. Cui, Y. Wang, Z. Li, A. X. Wang, C. Zeng, J. Xia. Nanophotonics, 10 (2021) 1081—1087, doi: 10.1515/nanoph-2020-0455

6. S. M. Weiss, J. D. Reckman, M. Liscidini, J. E. Sipe. Direct Imprinting of Porous Substrates, US patent No. 9352543B2 (2016)

7. J. D. Ryckman, M. Liscidini, J. E. Sipe, S. M. Weiss. Appl. Phys. Lett., 96 (2010) 171103(1—3), doi: 10.1063/1.3421545

8. А. Л. Степанов, В. И. Нуждин, М. Ф. Галяутдинов, В. Ф. Валеев, Н. В. Курбатова, В. В. Воробьев. Изв. РАН. Сер. физ., 82 (2018) 149—153, doi: 10.1011/JTF.2024.04.57532.276-23 [A. L. Stepanov, V. I. Nuzhdin, M. G. Galyatdinov, V. F. Valeev, N. V. Kurbatova, V. V. Vorobev. Bull. Russ. Acad. Sci., 82 (2018) 1047—1051, doi: 10.3103/S1062873818080403]

9. В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев, М. Ф. Галяутдинов. Квант. электрон., 48 (2018) 82—86, doi: 10.1070/QEL16499 [V. I. Nuzhdin, V. F. Valeev, M. G. Galyatdinov, A. L. Stepanov. Quantum Electron., 48 (2018) 82—86, doi: 10.1070/QEL16499]

10. G. Wang, J. Wang, H. Dai, C. Liu. Opt. Commun., 482 (2021) 126589(1—7), doi: 10.1016/j.optcom.2020.126589

11. А. Л. Степанов, В. И. Нуждин, А. М. Рогов, В. В. Воробьев. Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами, Казань, ФИЦПРЕСС (2019)

12. Y. Kudriavtsev, R. Asomoza, A. Hernandez, D. Y. Kazantsev, B. Y. Ber, A. N. Gorokhov. J. Vac. Sci. Technol. A, 38 (2020) 53203(1—12), doi: 10.1116/6.0000262

13. A. Tolstoguzov, A. E. Ieshkin, I. N. Kultusurin, P. Mazarov. Results Surf. Interfaces, 19 (2025) 100491(1—8), doi: 10.1016/j.rsurfi.2025.100491

14. R. Bottger, K.-H. Heining, L. Bischoff, B. Liedke, S. Facko. Appl. Phys. A, 113 (2013) 53, doi: 10.1007/s00339-013-7911-0

15. А. Л. Степанов, В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев, А. М. Рогов, Д. А. Коновалов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 7 (2024) 83—90, doi: 10.31857/S1028096024070119 [A. L. Stepanov, V. I. Nuzhdin, V. F. Valeev, A. M. Rogov, D. A. Konovalov. J. Surf. Investigation, 18 (2024) 834—840, doi: 10.1134/S1027451024700526]

16. A. L. Stepanov, V. A. Zhikharev, D. E. Hole, P. D. Townsend, I. B. Khaibullin. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 166 (2000) 26—30, doi: 10.1016/S0168-583X(99)00641-2

Источник

Информация

Автор

Степанов А. Л. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского ФИЦ Казанский научный центр РАН
Рогов А. М. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского ФИЦ Казанский научный центр РАН
Сотникова В. Ф. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского ФИЦ Казанский научный центр РАН
Валеев В. Ф. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского ФИЦ Казанский научный центр РАН
Нуждин В. И. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского ФИЦ Казанский научный центр РАН
Коновалов Д. А. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского ФИЦ Казанский научный центр РАН

Страницы

128-132

Год издания

2026

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии