TY  - JOUR
T1  - Создание оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористого германия распылением ионами висмута
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Степанов А. Л., 
AU  - Рогов А. М., 
AU  - Сотникова В. Ф., 
AU  - Валеев В. Ф., 
AU  - Нуждин В. И., 
AU  - Коновалов Д. А., 
Y1  - 2026-01-22
UR  - https://www.academjournals.by/publication/20333
N2  - Предложен метод для создания оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористых слоев германия (Ge) методом распыления ионами Bi+ подложки монокристаллического c-Ge при энергии E = 18 кэВ, плотности тока в ионном пучке J = 5 мкA/см2 и интервале доз D = 2.5 × 1016—1.0 × 1017 ион/см2 через сетчатую медную маску с размером квадратных ячеек 20 мкм. В процессе ионного облучения в немаскированных областях облучаемого c-Ge происходит распыление c-Ge и образования нанопористого слоя Bi:PGe. Формирование периодических микроструктур Bi:PGe на поверхности c-Ge контролировалось методами оптической, электронной и зондовой микроскопии. Функционирование дифракционной решетки показано путем ее зондирования излучением гелий-неонового лазера на длине волны 632.8 нм оптического спектрального диапазона.