@article{Степанов А. Л.2026-01-22,
author = { Степанов А. Л.,  Рогов А. М.,  Сотникова В. Ф.,  Валеев В. Ф.,  Нуждин В. И.,  Коновалов Д. А.},
title = {Создание оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористого германия распылением ионами висмута},
year = {2026},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Предложен метод для создания оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористых слоев германия (Ge) методом распыления ионами Bi+ подложки монокристаллического c-Ge при энергии E = 18 кэВ, плотности тока в ионном пучке J = 5 мкA/см2 и интервале доз D = 2.5 × 1016—1.0 × 1017 ион/см2 через сетчатую медную маску с размером квадратных ячеек 20 мкм. В процессе ионного облучения в немаскированных областях облучаемого c-Ge происходит распыление c-Ge и образования нанопористого слоя Bi:PGe. Формирование периодических микроструктур Bi:PGe на поверхности c-Ge контролировалось методами оптической, электронной и зондовой микроскопии. Функционирование дифракционной решетки показано путем ее зондирования излучением гелий-неонового лазера на длине волны 632.8 нм оптического спектрального диапазона.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/20333},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/20205},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}