17 Степанов А. Л. Рогов А. М. Сотникова В. Ф. Валеев В. Ф. Нуждин В. И. Коновалов Д. А. нанопористый германий распыление ионами висмута дифракционная решетка 2026 2026-01-22 Журнал прикладной спектроскопии Предложен метод для создания оптической профильной дифракционной решетки на основе нанопористых слоев германия (Ge) методом распыления ионами Bi+ подложки монокристаллического c-Ge при энергии E = 18 кэВ, плотности тока в ионном пучке J = 5 мкA/см2 и интервале доз D = 2.5 × 1016—1.0 × 1017 ион/см2 через сетчатую медную маску с размером квадратных ячеек 20 мкм. В процессе ионного облучения в немаскированных областях облучаемого c-Ge происходит распыление c-Ge и образования нанопористого слоя Bi:PGe. Формирование периодических микроструктур Bi:PGe на поверхности c-Ge контролировалось методами оптической, электронной и зондовой микроскопии. Функционирование дифракционной решетки показано путем ее зондирования излучением гелий-неонового лазера на длине волны 632.8 нм оптического спектрального диапазона. https://www.academjournals.by/publication/20333 https://www.academjournals.by/files/20205