УЧЕТ ВЗАИМНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ТОНКИХ ДВУХСЛОЙНЫХ Ti/V-СИСТЕМ

Машин Н. И.; Разуваев А. Г.; Черняева Е. А.; Гафарова Л. М.; Ершов А. В.

УЧЕТ ВЗАИМНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ТОНКИХ ДВУХСЛОЙНЫХ Ti/V-СИСТЕМ

Машин Н. И., Разуваев А. Г., Черняева Е. А., Гафарова Л. М., Ершов А. В.

2018

Предложен новый способ определения толщины слоев при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных систем Ti/V с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых напылением титана на подложку из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие уровень ослабления интенсивности первичного излучения рентгеновской трубки и аналитической линии элемента нижнего слоя в верхнем слое и усиления интенсивности флуоресценции верхнего слоя излучением атомов нижнего.

Машин Н. И., Разуваев А. Г., Черняева Е. А., Гафарова Л. М., Ершов А. В. УЧЕТ ВЗАИМНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ТОНКИХ ДВУХСЛОЙНЫХ Ti/V-СИСТЕМ. Журнал прикладной спектроскопии. 2018;85(1):100-107.

Цитирование

Список литературы

1. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15, № 2 (2011) 126-140

2. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34, № 1 (1979) 138-141

3. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta. B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130-133

4. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72-75

5. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Mannien, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354-359

6. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 571-577

7. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И. Машин. Зав. лаб., 56, № 12 (1990) 34-36

8. Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53, № 6 (1998) 638-640 [E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561-563]

9. Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56, № 6 (2001) 651-654 [N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581-584]

10. Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79, № 2 (2012) 328-332 [N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307-311]

11. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49, № 4 (2013) 372-375

12. K. Hirokava, M. Suzuki, H Gotô. Z. Аnal. Chem., 199, N 2 (1964) 89-94

13. H. Dahl, G. Schulz. Z. Angew. Phys., 29, N 2 (1970) 117-121

14. С. Л. Дудик, Б. Д. Калинин, Р. И. Плотников, С. К. Савельев. Аналитика и контроль, 10, № 3-4 (2006) 282-289

15. В. Я. Борходоев. Аналитика и контроль, 19, № 1 (2015) 40-44

16. Ш. И. Дуймакаев, М. В. Потькало. Аналитика и контроль, 20, № 1 (2016) 23-33

17. Г. А. Бордовский, А. В. Марченко, П. П. Скрегин, Н. Н. Смирнова, Е. И. Теруков. Письма в ЖТФ, 35, № 22 (2009) 15-22

18. M. West, A. T. Ellis, P. J. Potts, C. Streli, C. Vanhoof, P. Wobrauschek. J. Anal. At. Spectrom., 30 (2015) 1874-1877

19. В. Р. Дарашкевич, Н. А. Калинина, Б. А. Малюков, Ю. М. Украинский, С. П. Селиванова. Зав. лаб., 37, № 12 (1971) 1449-1452

20. Ф. Е. Наумцев, В. Ф. Волков, Н. Ф. Лосев. Зав. лаб., 54, № 4 (1988) 30-33

21. Н. И. Машин, А. Г. Разуваев, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 80, № 1 (2013) 5-11 [N. I. Mashin, A. G. Razuvaev, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 80 (2013) 1-7]

22. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, Л. М. Гафарова. Журн. прикл. спектр., 83 (2016) 65-69 [N. I. Mashin, E. A. Chernyaeva, A. N. Tumanova, L. M. Gafarova. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 56-60]

23. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44-48

24. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128-129

25. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84-86

Источник

Информация

Автор

Машин Н. И. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Разуваев А. Г. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Черняева Е. А. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Гафарова Л. М. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Ершов А. В. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

Страницы

100-107

Год издания

2018

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии