ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ В ДВУХСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Cr/Co РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМ

Черняева Е. А.; Князева А. А.; Зимина Е. О.; Белякова И. С.; Машин Н. И.

ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ В ДВУХСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Cr/Co РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМ

Черняева Е. А., Князева А. А., Зимина Е. О., Белякова И. С., Машин Н. И.

2019

Предложен способ определения массового коэффициента поглощения при рентгенофлуоресцентном анализе двухслойных тонкопленочных систем Cr/Co на подложках из поликора с использованием простых в изготовлении унифицированных пленочных слоев, получаемых нанесением хрома на подложки из пленки полимера. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие ослабление первичного излучения рентгеновской трубки и интенсивности аналитических линий элемента нижнего слоя в верхнем слое.

Черняева Е. А., Князева А. А., Зимина Е. О., Белякова И. С., Машин Н. И. ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ В ДВУХСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СИСТЕМЕ Cr/Co РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМ. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):936-941.

Цитирование

Список литературы

1. А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. Технология и конструирование интегральных микросхем, Москва, Радио и связь (1983) 84—86

2. Ю. А. Игнатова, А. Н. Еритенко, А. Г. Ревенко, А. Л. Цветянский. Аналитика и контроль, 15 , № 2 (2011) 126—140

3. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков, Г. М. Туровская. Журн. аналит. химии, 34 , № 1 (1979) 138—141

4. B. Kanrar, K. Sanyal, N. L. Misra, S. K. Aggarwal. Spectrochim. Acta B: At. Spectrosc., 101 (2015) 130—133

5. P. Jonnard, H. Maury, J.-M. Andre. X-Ray Spectrom., 36 (2007) 72—75

6. K. Nygård, K. Hämäläinen, S. Manninen, P. Jalas, J.-P. Ruottinen. X-Ray Spectrom., 33 (2004) 354—359

7. В. Я. Борходоев. Журн. аналит. химии, 53 , № 6 (1998) 571—577

8. Н. И. Машин, Н. К. Рудневский, Ю. С. Калинин, А. И . Машин. Зав. лаб., 56 , № 12 (1990) 34—36

9. Е. Е. Беляева, А. В. Ершов, А. И. Машин, Н. И. Машин, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 53 , № 6 (1998) 638—640 [ E. E. Belyaeva, A. V. Ershov, A. I. Mashin, N. I. Mashin, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 53 (1998) 561—563]

10. Н. И. Машин, А. Н. Туманова, Н. К. Рудневский. Журн. аналит. химии, 56 , № 6 (2001) 651—654 [ N. I. Mashin, A. N. Tumanova, N. K. Rudnevskii. J. Analyt. Chem., 56 (2001) 581—584]

11. Н. И. Машин, Р. В. Лебедева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Журн. прикл. спектр., 79 , № 2 (2012) 328—332 [ N. I. Mashin, R. V. Lebedeva, A. N. Tumanova, A. A. Ershov. J. Appl. Spectr., 79 (2012) 307—311]

12. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова, А. А. Ершов. Неорг. матер., 49 , № 12 (2013) 1294—1299

13. М. А. Блохин, И. Г. Швейцер. Рентгеноспектральный справочник, Москва, Наука (1982) 94

14. Н. И. Машин, Е. А. Черняева, А. Н. Туманова. Неорг. матер., 51, № 1 (2015) 44—48

15. В. П. Афонин, Н. И. Комяк, В. П. Николаев, Р. И. Плотников. Рентгенофлуоресцентный анализ, Новосибирск, Наука (1991) 128—129

16. Н. Ф. Лосев, А. Н. Смагунова. Основы рентгеноспектрального флуоресцентного анализа, Москва, Химия (1982) 97

17. В. Р. Дарашкевич, Б. А. Малюков. Зав. лаб., 46 , № 6 (1980) 512—513

Источник

Информация

Автор

Черняева Е. А. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Князева А. А. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Зимина Е. О. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Белякова И. С. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Машин Н. И. Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

Страницы

936-941

Год издания

2019

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии