Оптические характеристики пленок полиимида, имплантированных ионами железа с высоким флюенсом
В диапазоне 200—3000 нм исследованы пропускание и отражение тонких (40 мкм) пленок полиимида, имплантированных ионами железа с энергией 40 кэВ высоким флюенсом: F1 = 5 ꞏ 1016 и F2 = 1.25 ꞏ 1017 см–2. Интегральный коэффициент пропускания пленок монотонно уменьшается более чем в три раза, в то время как коэффициент отражения изменяется немонотонно: увеличивается при малом флюенсе и уменьшается до исходного значения при высоком флюенсе. Для импланитрованных пленок наблюдается широкая полоса отражения с максимумом при λ ≈ 1000 нм, связанная с формированием наночастиц железа и/или его соединений. Узкие полосы отражения, характерные для исходного полиимида в УФ-области, подавляются при отражении имплантированной стороной и сдвигаются в коротковолновую область при регистрации от неимплантированной поверхности пленки. Результаты измерений интерпретированы в рамках двухслойной модели: карбонизированный приповерхностный слой с имплантированным металлом и немодифицированный имплантацией слой полимерной пленки. Оптическая щель Тауца карбонизированного слоя имеет отрицательное значение из-за доминирования в нем железосодержащей фазы, показатели преломления модифицированного слоя n1 = 2.5 при низком флюенсе и n2 = 1.3 при высоком.
