Влияние типа металла и толщины слоeв на поглощение оптического излучения профилированными структурами Si3N4/Me/Si3N4

Козодоев С. В., Мухаммад А. И., Колос В. В., Гайдук П. И.
2025

В спектрах поглощения оптического излучения структурами Si3N4/Me/Si3N4, рассчитанных методом конечных разностей во временной области, обнаружено влияние толщины структурных слоев на интенсивность и ширину полосы поглощения. Уменьшение суммарной толщины верхнего и нижнего слоев Si3N4 с 400 до 100 нм приводит к росту поглощения в среднем на 20 % и уширению полосы поглощения с интенсивностью >90 % с 0.8 до 1.6 мкм. Показано, что в спектре поглощения структуры Si3N4/Ti/Si3N4 с толщиной каждого слоя 50 нм ширина полосы поглощения с интенсивностью >90 % составляет 4.3 мкм. Уменьшение толщины профилированного слоя Ti от 130 до 50 нм приводит к незначительному снижению максимального значения поглощения с 99 до 96 %. Показано, что уширение полосы поглощения связано с влиянием толщины Si3N4 на интерференционные процессы в структурах Si3N4/Ti/Si3N4. Установлено, что зависимость интенсивности поглощения от типа металла в диапазоне 8.3—13 мкм может быть обусловлена зависимостью концентрации свободных электронов от типа металла.

Козодоев С. В., Мухаммад А. И., Колос В. В., Гайдук П. И. Влияние типа металла и толщины слоeв на поглощение оптического излучения профилированными структурами Si3N4/Me/Si3N4. Журнал прикладной спектроскопии. 2025;92(2):187-192.
Цитирование

Список литературы

Похожие публикации

Поглощение ИК-излучения в структурах Ti/(Si)/SiO2/Si3N4/n+-Si с островковым поверхностным слоем различной горизонтальной геометрии
Мухаммад А. И., Гайдук П. И.,
Влияние толщины n-Si подложки и уровня ее легирования на поглощающие свойства кремниевых плазмонных структур в инфракрасном диапазоне
Мухаммад А. И., Гайдук П. И.,
Зависимости оптических характеристик двухслойных металл-диэлектрик сферических наночастиц от температуры
Пустовалов В. К., Астафьева Л. Г.,

Источник

Информация

Автор
  • Козодоев С. В. Белорусский государственный университет; ОАО “ИНТЕГРАЛ” — управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”
  • Мухаммад А. И. Белорусский государственный университет
  • Колос В. В. ОАО “ИНТЕГРАЛ” — управляющая компания холдинга “ИНТЕГРАЛ”
  • Гайдук П. И. Белорусский государственный университет
Страницы
  • 187-192
Год издания
  • 2025
Ключевые слова
Коллекции
© 2024 - 2025