ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИЕ СТРУКТУРЫ В ЛАЗЕРНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПЛЕНКАХ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА
2014
Исследована модификация пленок алмазоподобного углерода (АПУ) импульсным лазерным излучением с длиной волны 532 нм и длительностью 18 нс. Облучение пленок АПУ с энергетической экспозицией свыше 0,4 Дж/см2 сопровождалось формированием электропроводящих структур с поверхностным сопротивлением от тысяч до единиц кОм/^. Установлена зависимость проводимости пленок от энергетической экспозиции лазерного облучения и обсуждается ее связь со структурными изменениями пленок и процессами их нагрева и испарения.
Чумаков А. Н., Никончук И. С., Поклонский Н. А., Горбачук Н. И., Поклонская О. Н., Обухов В. Е. ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИЕ СТРУКТУРЫ В ЛАЗЕРНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПЛЕНКАХ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА. Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук. 2014;(4):72-75.
Цитирование
Список литературы