TY  - JOUR
T1  - ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИЕ СТРУКТУРЫ В ЛАЗЕРНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПЛЕНКАХ АЛМАЗОПОДОБНОГО УГЛЕРОДА
JF  - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук
AU  - Чумаков А. Н., 
AU  - Никончук И. С., 
AU  - Поклонский Н. А., 
AU  - Горбачук Н. И., 
AU  - Поклонская О. Н., 
AU  - Обухов В. Е., 
Y1  - 2016-05-19
UR  - https://www.academjournals.by/publication/13145
N2  - Исследована модификация пленок алмазоподобного углерода (АПУ) импульсным лазерным излучением с длиной волны 532 нм и длительностью 18 нс. Облучение пленок АПУ с энергетической экспозицией свыше 0,4 Дж/см2 сопровождалось формированием электропроводящих структур с поверхностным сопротивлением от тысяч до единиц кОм/^. Установлена зависимость проводимости пленок от энергетической экспозиции лазерного облучения и обсуждается ее связь со структурными изменениями пленок и процессами их нагрева и испарения.