@article{БАРАБОШИНА А. А.2016-06-03,
author = { БАРАБОШИНА А. А.,  СВИРИДОВА Т. В.,  ЦЫБУЛЬСКАЯ Л. С.,  КОКОРИН А. И.,  СВИРИДОВ Д. В.},
title = {НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ФОТОРЕЗИСТЫ НА ОСНОВЕ СМЕШАННЫХ ОКСИДОВ МОЛИБДЕНА И ВАНАДИЯ},
year = {2015},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Продемонстрирована возможность использования тонких пленок смешанного молибден-ванадиевого оксида в качестве неорганического фоторезистного материала для получения высокоустойчивых рисунков-масок. В основе фоточувствительности систем такого рода лежит фотоиндуцированная поликонденсация олигомеров смешанных полиоксокислот в пленках ксерогеля V2O5 : MoO3.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/3044},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/3026},
journal = {Доклады Национальной академии наук Беларуси},
}