Климович И. М., Романов И. А., Комаров Ф. Ф., Зайков В. А., Власукова Л. А., Осин Ю. Н., Рогов А. М., Воробьев В. В., Степанов А. Л. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ, ОСАЖДАЕМЫХ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ. Доклады Национальной академии наук Беларуси. 2017;61(6):35-41.