17 Комаров Ф. Ф. Константинов С. В. Зайков В. А. Пилько В. В. наноструктурированные покрытия TiZrSiN структурно-фазовое состояние трибомеханические свойства наноиндентирование радиационная стойкость 2020 2020-11-03 10.29235/1561-8323-2020-64-5-534-543 Доклады Национальной академии наук Беларуси Методом реактивного магнетронного распыления сформированы наноструктурированные покрытия TiZrSiN на различных типах подложек в режимах с недостатком и стехиометрической концентрацией азота. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгеноструктурного фазового анализа определено структурно-фазовое состояние исходных покрытий, их толщины, а также морфология. С использованием наноиндентирования по методике Оливера и Фарра, а также трибомеханических испытаний определены твердость, модуль Юнга и коэффициента трения покрытий. Проведено облучение исследуемых покрытий TiZrSiN ионами водорода H+ с энергией 500 кэВ в диапазоне флюенсов от 1 • 1016 до 1 • 1017 ион/см2 на ускорительном комплексе AN 2500. Установлено, что наноструктурированные покрытия TiZrSiN, нанесенные в режимах недостатка и стехиометрии азота являются радиационно-стойкими и потенциально перспективными для эксплуатации как защитных на корпусах малых летательных аппаратов на орбите Земли и в условиях открытого космоса. https://www.academjournals.by/publication/2536 https://www.academjournals.by/files/2534