TY  - JOUR
T1  - Процессы формирования пленок сплавов системы Cu–Ni методом электроннолучевого испарения
JF  - Доклады Национальной академии наук Беларуси
DO  - 10.29235/1561-8323-2023-67-2-156-162
AU  - Чижик С. А., 
AU  - Зеленин В. А., 
AU  - Егорова Ю. А., 
Y1  - 2023-05-07
UR  - https://www.academjournals.by/publication/2264
N2  - Рассмотрены особенности формирования пленок сплавов системы Cu–Ni методом электронно-лучевого испарения. Определено положение изобар суммарного давления меди и никеля на диаграмме состояния Cu–Ni при испарении в вакууме. Проведены расчеты элементных составов пленок. Показано, что содержание никеля в пленках, осаждающихся при кипении сплава Cu50Ni50 в вакууме, в 50 раз меньше, чем в сплаве. Исследована структура и элементный состав поверхностного слоя сплавов после их испарения и сублимации, а также элементный состав осаждаемых пленок. Показано, что наиболее приемлемым способом получения пленок стабильного состава в системе Cu–Ni является одновременное электронно-лучевое испарение меди и никеля из двух тиглей.