%0 article
%A Константинов C. В., 
%A Комаров Ф. Ф., 
%A Чижов И. В., 
%A Зайков В. А., 
%T Структурно-фазовые состояния и микромеханические свойства наноструктурированных покрытий TiAlCuN
%D 2023
%R 10.29235/1561-8323-2023-67-2-101-110
%J Доклады Национальной академии наук Беларуси
%X Покрытия TiAlCuN были сформированы методом реактивного магнетронного распыления на подложках титана марки ВТ1-0 и монокристаллического кремния. Для контроля и управления процессом нанесения покрытий методом реактивного магнетронного распыления использовался разработанный модульный комплекс управления расходом газов. Исследован элементный состав покрытий методом рентгеноспектрального микроанализа. Изучено структурно-фазовое состояние покрытий методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии. Механические свойства, такие как твердость и модуль Юнга, исследованы по методике Оливера и Фарра с использованием нанотвердомера CSM Instruments Nanohardness Tester NHT2 (Швейцария). Рассмотрено влияние параметров осаждения, таких как: содержание Ti и Al, степень реактивности α и концентрация азота на структуру и механические свойства. Установлено, что снижение степени реактивности α с 0,605 до 0,474 приводит к увеличению скорости осаждения покрытия TiAlCuN на 23 %. Обнаружено, что добавление меди в состав приводит к уменьшению среднего размера кристаллитов и колонок роста по сравнению с TiAlN аналогами за счет ее сегрегации по границам раздела фаз, что улучшает механические свойства покрытий. Твердость покрытий TiAlСuN варьируется в диапазоне H = 29,3–35,4 ГПа, модуль Юнга – E = 235,9–267,6 ГПа. Рассчитаны показатели ударной вязкости H / E* и сопротивления пластической деформации H3 / E*2. Сформированные нитридные покрытия пригодны для использования в космической технике. 
%U https://www.academjournals.by/publication/2258