Ван Тин , Комаров Ф. Ф., Пархоменко И. Н., Ян Гофэн , Сюэ Цзюньцзюнь Гипердопирование кремния с помощью имплантации ионов селена и марганца и импульсного лазерного отжига. Доклады Национальной академии наук Беларуси. 2024;68(2):112-117. https://doi.org/10.29235/1561-8323-202468-2-112-117