Ван Тин , Комаров Ф. Ф., Пархоменко И. Н., Ян Гофэн , Сюэ Цзюньцзюнь Гипердопирование кремния с помощью имплантации ионов селена и марганца и импульсного лазерного отжига // Доклады Национальной академии наук Беларуси. 2024 Т.68, №2. С.112-117. doi:10.29235/1561-8323-202468-2-112-117