17 Ван Тин Комаров Ф. Ф. Пархоменко И. Н. Ян Гофэн Сюэ Цзюньцзюнь кремний гипердопирование имплантация селена и марганца лазерный отжиг подзона поглощение 2024 2024-04-29 10.29235/1561-8323-202468-2-112-117 Доклады Национальной академии наук Беларуси Изучено влияние импульсного лазерного отжига (ИЛО) на структуру и оптические свойства имплантированных ионами Mn-, Seи (Mn+Se)-слоев кремния. Ионы Mn+ с энергией 95 кэВ и Se+ с энергией 200 кэВ отдельно и совместно были имплантированы в пластины Si p-типа равными флюенсами 1 · 1016 см–2 при комнатной температуре. Затем образцы облучались импульсами рубинового лазера с плотностью энергии 2 Дж/см2. Детальное перераспределение атомов Mn и Se в имплантированных слоях при ИЛО исследовалось с помощью случайных и каналированных спектров резерфордовского обратного рассеяния. Было обнаружено, что значительный процент имплантированного марганца диффундирует к поверхности кремния, а концентрационный профиль Se по глубине уширяется как к поверхности, так и в глубь образца в течение ИЛО. Совместная имплантация Mn усиливает диффузию Se к поверхности, уменьшает активацию Se в кристаллическом кремнии, но улучшает кристаллическую структуру имплантированного слоя кремния. В отличие от образцов, имплантированных только Mn, Se-имплантированные и (Mn+Se)-коимплантированные образцы после ИЛО демонстрируют сильное оптическое поглощение в инфракрасном диапазоне. Наблюдаемая полоса поглощения при 0,6 эВ связана с электронными переходами между сформированной подзоной и нижними энергетическими уровнями зоны проводимости. https://www.academjournals.by/publication/2197 https://www.academjournals.by/files/2195