Комаров Ф. Ф., Мильчанин О. В., Чуприс И. К., Пархоменко И. Н., Роговая И. С., Исмайлова Г. А., Баталов Р. И., Пилько В. В. Влияние режимов термообработки на состав, структуру и оптические свойства слоев кремния, имплантированных ионами индия и мышьяка. Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-математических наук. 2026;62(3):223-238. https://doi.org/10.29235/1561-2430-2026-62-3-223-238