TY  - JOUR
T1  - Формирование диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана для интегральных оптических волноводов
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Белый Г. В., 
AU  - Лопато У. П., 
AU  - Бондаренко В. П., 
AU  - Гревцов Н. Л., 
AU  - Чубенко Е. Б., 
AU  - Лабунов В. А., 
Y1  - 2026-09-08
UR  - https://www.academjournals.by/publication/21173
N2  - Продемонстрирована возможность формирования диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана путем осаждения последнего в пористый кремний зольгель методом и последующего высокотемпературного окисления. Полученный в результате реализации предложенной методики диэлектрический материал характеризуется увеличенным показателем преломления, что делает его перспективным для создания интегральных оптических канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями.