PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Белый Г. В., 
AU - Лопато У. П., 
AU - Бондаренко В. П., 
AU - Гревцов Н. Л., 
AU - Чубенко Е. Б., 
AU - Лабунов В. А., 
TI - Формирование диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана для интегральных оптических волноводов
DP - 2026-09-08
TA - Журнал прикладной спектроскопии
SO - https://www.academjournals.by/publication/21173
AB - Продемонстрирована возможность формирования диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана путем осаждения последнего в пористый кремний зольгель методом и последующего высокотемпературного окисления. Полученный в результате реализации предложенной методики диэлектрический материал характеризуется увеличенным показателем преломления, что делает его перспективным для создания интегральных оптических канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями.