17 Белый Г. В. Лопато У. П. Бондаренко В. П. Гревцов Н. Л. Чубенко Е. Б. Лабунов В. А. пористый кремний оксид кремния оксид титана золь-гель метод термическое окисление показатель преломления оптический волновод 2026 2026-09-08 Журнал прикладной спектроскопии Продемонстрирована возможность формирования диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана путем осаждения последнего в пористый кремний зольгель методом и последующего высокотемпературного окисления. Полученный в результате реализации предложенной методики диэлектрический материал характеризуется увеличенным показателем преломления, что делает его перспективным для создания интегральных оптических канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями. https://www.academjournals.by/publication/21173 https://www.academjournals.by/files/21023