%0 article
%A Белый Г. В., 
%A Лопато У. П., 
%A Бондаренко В. П., 
%A Гревцов Н. Л., 
%A Чубенко Е. Б., 
%A Лабунов В. А., 
%T Формирование диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана для интегральных оптических волноводов
%D 2026
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Продемонстрирована возможность формирования диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана путем осаждения последнего в пористый кремний зольгель методом и последующего высокотемпературного окисления. Полученный в результате реализации предложенной методики диэлектрический материал характеризуется увеличенным показателем преломления, что делает его перспективным для создания интегральных оптических канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями.
%U https://www.academjournals.by/publication/21173