@article{Белый Г. В.2026-09-08,
author = { Белый Г. В.,  Лопато У. П.,  Бондаренко В. П.,  Гревцов Н. Л.,  Чубенко Е. Б.,  Лабунов В. А.},
title = {Формирование диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана для интегральных оптических волноводов},
year = {2026},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Продемонстрирована возможность формирования диэлектрического материала на основе окисленного пористого кремния и оксида титана путем осаждения последнего в пористый кремний зольгель методом и последующего высокотемпературного окисления. Полученный в результате реализации предложенной методики диэлектрический материал характеризуется увеличенным показателем преломления, что делает его перспективным для создания интегральных оптических канальных волноводов с низкими потерями в объемных микросборках электронных схем с оптическими соединениями.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/21173},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/21023},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}