TY  - JOUR
T1  - Структурно-морфологические особенности однокомпонентных и композиционных покрытий на основе полиэтилена, осажденных из активной газовой фазы
JF  - Известия Национальной академии наук Беларуси. Серия физико-технических наук
DO  - 10.29235/1561-8358-2025-70-3-219-229
AU  - Горбачев Д. Л., 
AU  - Ярмоленко М. А., 
AU  - Рогачев А. А., 
Y1  - 2025-10-14
UR  - https://www.academjournals.by/publication/19969
N2  - Методом атомно-силовой, инфракрасной спектроскопии определены морфология и молекулярная структура наноразмерных покрытий, осажденных из летучих продуктов электронно-лучевого диспергирования полиэтилена и его смеси с хлоридом алюминия в условиях лазерного ассистирования и без него. Покрытия осаждались на подложки кремния, модифицированные с целью изменения поверхностной энергии. Установлено, что при диспергировании однокомпонентной мишени полиэтилена снижение поверхностной энергии сопровождается монотонным уменьшением шероховатости, среднего размера зерна, повышением фрактальной размерности структурных образований. Покрытия, осажденные из продуктов диспергирования полиэтилена и хлорида алюминия, характеризуются значительно меньшей шероховатостью, меньшим объемом зерна в сравнении с покрытиями, осажденными при диспергировании однокомпонентной мишени, и их структурно-морфологические параметры не коррелируют с изменением поверхностной энергии. Установлено, что лазерное ассистирование электронно-лучевого диспергирования незначительно влияет на молекулярную структуру покрытий. Использование данных слоев в силу их антифрикционных и гидрофобных свойств перспективно в устройствах микроэлектроники и микрофлюидики.