@article{Степанов А. Л.2025-09-26, author = { Степанов А. Л., Рогов А. М., Сотникова В. Ф., Валеев В. Ф., Нуждин В. И., Коновалов Д. А.}, title = {Тонкопленочное покрытие с пониженным коэффициентом оптического отражения на основе слоя нанопористого германия}, year = {2025}, publisher = {NP «NEICON»}, abstract = {Предложен метод получения покрытия с пониженным коэффициентом оптического отражения на основе нанопористых слоев германия (Ge), основанный на имплантации ионами 209Bi++ монокристаллического c-Ge при энергии E = 72 кэВ, плотности тока в ионном пучке J = 5 мкA/см2 и интервале доз D = 1.3 ꞏ 1015—2.5 >ꞏ 1016 ион/см2. Установлено, что, начиная с D = 6.2 · 1015 ион/см2, формируется вспученный губчатый слой Bi:PGe толщиной порядка 100 нм, состоящий из тонких переплетающихся нанонитей Ge, который не меняет свои морфологические особенности с ростом D. Данный слой характеризуется низким коэффициентом оптического отражения (< 3 %) в видимом диапазоне спектра.}, URL = {https://www.academjournals.by/publication/19913}, eprint = {https://www.academjournals.by/files/19806}, journal = {Журнал прикладной спектроскопии}, }