TY - JOUR T1 - Спектры фотолюминесценции дефектов упаковки в кристаллах 4H-SiC JF - Журнал прикладной спектроскопии AU - Атабаев Б. Г., AU - Жураев Х. Н., AU - Шаймарданов З. Ш., AU - Жалолов Р. Р., AU - Уролов Ш. З., Y1 - 2025-09-26 UR - https://www.academjournals.by/publication/19907 N2 - Исследованы монокристаллические пластинки 4H-SiC компании Cree методом неразрушающей фотолюминесценции высокого разрешения при комнатной температуре с целью экспериментального исследования возле края зоны (NBE) фотолюминесценции и фотолюминесценции дефектов упаковки. Обнаружено вклад фотолюминесценции дефектов упаковки в спектр фотолюминесценции исходных карбида кремния 4H-SiC позволяет оценивать качества подложек. Экспериментальный спектр фотолюминесценции 4H-SiC подчиняются Лоренцовскому распределению. Электрон-фононное взаимодействие приводит к значительной взаимной зависимости интенсивностей межзонной (band to band) и NBE фотолюминесценции и фотолюминесценции дефектов упаковки.