TY - JOUR
T1 - ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МОДЕЛЕЙ КОДИ-ЛОРЕНЦА И ТАУК-ЛОРЕНЦА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ФУНКЦИИ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ (HfO2)x(ZrO2)1-x
JF - Журнал прикладной спектроскопии
AU - Shahrokhabadi H. .,
AU - Bananej A. .,
AU - Vaezzadeh M. .,
Y1 - 2025-03-12
UR - https://www.academjournals.by/publication/16488
N2 - Модели Таук-Лоренца и Коди-Лоренца с хвостом Урбаха выведены, объяснены и использованы для моделирования мнимой части диэлектрической функции осажденного атомарного слоя (HfO2)x(ZrO2)1-x в диапазоне энергий 0.7-9.3 эВ. Процедура подгонки выполнялась с использованием метода Левенберга-Марквардта, минимизирующего среднеквадратическую ошибку. Обе модели согласуются с экспериментальными данными вакуумной УФ спектроскопической эллипсометрии. При содержании циркония 60 и 75 % в видимой области спектра наблюдается профиль слабого поглощения, который с большой точностью соответствует модели осциллятора Лоренца. Для расчета запрещенной зоны различных составов использованы графики Коди и Таука. Результаты показывают, что модель Коди-Лоренца более точна, так как она учитывает экспоненциальное поглощение ниже запрещенной зоны и модифицированную плотность состояний.