Телеш Е. В., Достанко А. П., Гуревич О. В. СТЕХИОМЕТРИЯ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННО-ЛУЧЕВЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ // Журнал прикладной спектроскопии. 2018 Т.85, №1. С.76-81.