TY  - JOUR
T1  - ПОЛЯРИЗУЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ, ИЗГОТОВЛЕННОЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА ШИРОКОПОЛОСНОГО СПЕКТРАЛЬНОГО МОНИТОРИНГА
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Lv Q. , 
AU  - Deng S. , 
AU  - Li Ch. , 
AU  - Huangm M. , 
AU  - Li G. , 
AU  - Jin Y. , 
Y1  - 2020-03-18
UR  - https://www.academjournals.by/publication/16068
N2  - Представлен метод контроля толщины покрытия, основанный на использовании широкополосного спектрального мониторинга. Разработано поляризующее покрытие, функционирующее на λ = 1550 нм при угле падения света 45º. Оптимизированная структура покрытия содержит 59 слоев, не являющихся четвертьволновыми. На стадии подготовки образца с целью оценки преимуществ метода широкополосного спектрального мониторинга выполнен анализ погрешностей. Поляризующее покрытие нанесено методом ионно-лучевого напыления с использованием оптимизированного метода мониторинга. Осуществлен реверс-инжиниринг изготовленного покрытия. Получено хорошее соответствие измеренного пропускания с теоретически предсказанным, причем максимальное отклонение между ними в первых и последних двух слоях ~10%, а минимальное ~0.01%.