%0 article
%A Lv Q. , 
%A Deng S. , 
%A Li Ch. , 
%A Huangm M. , 
%A Li G. , 
%A Jin Y. , 
%T ПОЛЯРИЗУЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ, ИЗГОТОВЛЕННОЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА ШИРОКОПОЛОСНОГО СПЕКТРАЛЬНОГО МОНИТОРИНГА
%D 2019
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Представлен метод контроля толщины покрытия, основанный на использовании широкополосного спектрального мониторинга. Разработано поляризующее покрытие, функционирующее на λ = 1550 нм при угле падения света 45º. Оптимизированная структура покрытия содержит 59 слоев, не являющихся четвертьволновыми. На стадии подготовки образца с целью оценки преимуществ метода широкополосного спектрального мониторинга выполнен анализ погрешностей. Поляризующее покрытие нанесено методом ионно-лучевого напыления с использованием оптимизированного метода мониторинга. Осуществлен реверс-инжиниринг изготовленного покрытия. Получено хорошее соответствие измеренного пропускания с теоретически предсказанным, причем максимальное отклонение между ними в первых и последних двух слоях ~10%, а минимальное ~0.01%.
%U https://www.academjournals.by/publication/16068