Базаров В. В., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Лядов Н. М. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ КИСЛОРОДА И ГЕЛИЯ, МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ // Журнал прикладной спектроскопии. 2019 Т.86, №1. С.151-154.