@article{Базаров В. В.2025-03-12,
author = { Базаров В. В.,  Нуждин В. И.,  Валеев В. Ф.,  Лядов Н. М.},
title = {АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ КИСЛОРОДА И ГЕЛИЯ, МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ},
year = {2019},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Представлены результаты исследований методом спектральной эллипсометрии поверхности кремния, имплантированного ионами кислорода в интервале доз 7.5 × 1014-3.7 × 1016 ион/см2 и ионами гелия в интервале доз 6 × 1016-6 × 1017 ион/см2 с энергией 40 кэВ при постоянной плотности тока в ионном пучке 2 мкА/см2 и комнатной температуре облучаемых подложек. Получены зависимости толщины имплантированного слоя в облученных пластинах и степени его аморфизации от дозы ионной имплантации. },
URL = {https://www.academjournals.by/publication/16006},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15960},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}