17 Босак Н. А. Чумаков А. Н. Шевченок А. А. Баран Л. В. Кароза А. Г. Малютина-Бронская В. В. Райченок Т. Ф. Сугак М. Г. высокочастотное лазерное воздействие легированный скандием оксид цинка структура тонких пленок спектры пропускания и люминесценции электрофизические характеристики 2020 2020-10-30 Журнал прикладной спектроскопии Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10—15 кГц) лазерного воздействия с длиной волны λ = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 85 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированную оксидом скандия, при давлении в вакуумной камере p = 2 ⋅ 10-2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Полученные при возбуждении разными длинами волн спектры люминесценции практически не изменяются. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+0.9%Sc2O3/Si. Установлено, что основным механизмом проводимости является ток, ограниченный пространственным зарядом в пленке оксида с глубокими ловушками. https://www.academjournals.by/publication/15935 https://www.academjournals.by/files/15889