TY - JOUR T1 - ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ АНТИОТРАЖАЮЩИХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ Al2O3–SiО2 ДЛЯ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ JF - Журнал прикладной спектроскопии AU - Сулейманов С. Х., AU - Гременок В. Ф., AU - Хорошко В. В., AU - Иванов В. А., AU - Дыскин В. Г., AU - Джанклич М. У., AU - Кулагина Н. А., Y1 - 2020-09-17 UR - https://www.academjournals.by/publication/15916 N2 - Представлены результаты моделирования, получения и исследования интегрального коэффициента отражения (RS) однослойных композиционных антиотражающих покрытий Al2O3-SiO2 для кремниевых солнечных элементов с интегральным коэффициентом отражения RS £10 %. Показано, что при концентрациях Al2O3 = 52-84 мас.% и SiO2 = 16-48 мас.% и толщине 53-97 нм минимальные значения для Al2O3 RS = 73-77 %, для SiO2 RS = 27-23 % и толщине 69-75 нм. Экспериментально показано, что для слоев Al2O3:SiO2 = 75:25 % толщиной 72 нм RS = 3.53 %, что примерно в два раза ниже, чем RS для покрытия Si3N4.