Ссылка для цитирования по Vancouver
Бринкевич С. Д., Гринюк Е. В., Бринкевич Д. И., Свердлов Р. Л., Просолович В. С., Петлицкий А. Н. МЕХАНИЗМ АДГЕЗИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА С МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ. Журнал прикладной спектроскопии. 2020;87(4):589-594.