TY  - JOUR
T1  - МЕХАНИЗМ АДГЕЗИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА С МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Бринкевич С. Д., 
AU  - Гринюк Е. В., 
AU  - Бринкевич Д. И., 
AU  - Свердлов Р. Л., 
AU  - Просолович В. С., 
AU  - Петлицкий А. Н., 
Y1  - 2020-09-17
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15905
N2  - Методом ИК-Фурье-спектроскопии нарушенного полного внутреннего отражения исследованы радиационно-индуцированные процессы, протекающие при имплантации ионов бора и фосфора в пленки позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120 на кремнии. Установлено, что усиление адгезии резиста к монокристаллическому кремнию обусловлено образованием сложноэфирных сшивок между гидроксильными группами на поверхности оксидного слоя кремниевой пластины и карбоксильной группой 1-Н-инден-3-карбоновой кислоты.