PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Бринкевич С. Д., 
AU - Гринюк Е. В., 
AU - Бринкевич Д. И., 
AU - Свердлов Р. Л., 
AU - Просолович В. С., 
AU - Петлицкий А. Н., 
TI - МЕХАНИЗМ АДГЕЗИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА С МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ
DP - 2020-09-17
TA - Журнал прикладной спектроскопии
SO - https://www.academjournals.by/publication/15905
AB - Методом ИК-Фурье-спектроскопии нарушенного полного внутреннего отражения исследованы радиационно-индуцированные процессы, протекающие при имплантации ионов бора и фосфора в пленки позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120 на кремнии. Установлено, что усиление адгезии резиста к монокристаллическому кремнию обусловлено образованием сложноэфирных сшивок между гидроксильными группами на поверхности оксидного слоя кремниевой пластины и карбоксильной группой 1-Н-инден-3-карбоновой кислоты.