Ссылка для цитирования по ГОСТ
Бринкевич С. Д., Гринюк Е. В., Бринкевич Д. И., Свердлов Р. Л., Просолович В. С., Петлицкий А. Н. МЕХАНИЗМ АДГЕЗИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА С МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ // Журнал прикладной спектроскопии. 2020 Т.87, №4. С.589-594.