@article{Бринкевич С. Д.2020-09-17,
author = { Бринкевич С. Д.,  Гринюк Е. В.,  Бринкевич Д. И.,  Свердлов Р. Л.,  Просолович В. С.,  Петлицкий А. Н.},
title = {МЕХАНИЗМ АДГЕЗИОННОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА С МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИМ КРЕМНИЕМ},
year = {2020},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Методом ИК-Фурье-спектроскопии нарушенного полного внутреннего отражения исследованы радиационно-индуцированные процессы, протекающие при имплантации ионов бора и фосфора в пленки позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120 на кремнии. Установлено, что усиление адгезии резиста к монокристаллическому кремнию обусловлено образованием сложноэфирных сшивок между гидроксильными группами на поверхности оксидного слоя кремниевой пластины и карбоксильной группой 1-Н-инден-3-карбоновой кислоты.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15905},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15859},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}