TY  - JOUR
T1  - МОДИФИКАЦИЯ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ПОЛИАМИДА ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ КОБАЛЬТА
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Базаров В. В., 
AU  - Бумай Ю. А., 
AU  - Валеев В. Ф., 
AU  - Головчук В. И., 
AU  - Лукашевич М. Г., 
AU  - Нуждин В. И., 
AU  - Оджаев В. Б., 
AU  - Харченко А. А., 
AU  - Хайбуллин Р. И., 
Y1  - 2020-06-30
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15881
N2  - Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200—1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2.5 × 1016—1.5 × 1017 см–2 при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1.3—2.1.