17 Базаров В. В. Бумай Ю. А. Валеев В. Ф. Головчук В. И. Лукашевич М. Г. Нуждин В. И. Оджаев В. Б. Харченко А. А. Хайбуллин Р. И. полиамид пленка ион имплантация кобальт пропускание отражение 2020 2020-06-30 Журнал прикладной спектроскопии Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200—1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2.5 × 1016—1.5 × 1017 см–2 при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1.3—2.1. https://www.academjournals.by/publication/15881 https://www.academjournals.by/files/15835