Мухаммад А. И., Гайдук П. И. Влияние толщины n-Si подложки и уровня ее легирования на поглощающие свойства кремниевых плазмонных структур в инфракрасном диапазоне. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(6):887-894. https://doi.org/10.47612/0514-7506-2021-88-6-887-894