Мухаммад А. И., Гайдук П. И. Влияние толщины n-Si подложки и уровня ее легирования на поглощающие свойства кремниевых плазмонных структур в инфракрасном диапазоне // Журнал прикладной спектроскопии. 2021 Т.88, №6. С.887-894. doi:10.47612/0514-7506-2021-88-6-887-894