TY  - JOUR
T1  - Влияние состава атмосферы высокочастотного распыления на плотность состояний и межзонное поглощение света в тонких пленках Y2O3
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
DO  - 10.47612/0514-7506-2021-88-6-881-886
AU  - Бордун О. М., 
AU  - Бордун И. О., 
AU  - Кофлюк И. Н., 
AU  - Кухарский И. И., 
AU  - Медвидь И. И., 
Y1  - 2021-11-27
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15788
N2  - Исследован длинноволновый край полосы фундаментального поглощения тонких пленок Y2O3, полученных методом высокочастотного ионно-плазменного распыления. Показано, что при нанесении пленок в атмосфере аргона, кислорода или смеси данных газов край межзонного поглощения хорошо аппроксимируется эмпирическим правилом Урбаха. Для анализа экспериментальных результатов рассмотрены дифрактограммы полученных пленок и использована модель сильнолегированного или дефектного полупроводника в квазиклассическом приближении. Использование данной модели позволяет определить радиус основного электронного состояния, радиус экранирования и среднеквадратичный потенциал в зависимости от атмосферы распыления.