TY  - JOUR
T1  - Оптико-эмиссионный анализ химического осаждения из паровой фазы плазмы метана атмосферного давления
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Chang Y.-C. , 
AU  - Wu P.-Y. , 
AU  - Jhuang J.-C. , 
AU  - Huang C. , 
Y1  - 2021-10-10
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15777
N2  - Исследованы характерные особенности свечения при низкотемпературном высокочастотном плазмохимическом осаждении из газовой фазы в среде CH4/Ar и его корреляция с характеристиками пленки, полученной плазменным напылением. Данные диагностики оптической эмиссионной спектроскопии и результаты осаждения показали, что во время тлеющего разряда CH4/Ar частицы CH и C2 возникают в результате диссоциации молекул CH4 под действием электронов низкой энергии, которые образуют частицы осаждения. Однако сильные линии излучения Ar связаны с неосажденными частицами, такими как атом аргона. Результаты оптико-эмиссионного анализа показали, что возможный вклад в рост пленки, осажденной плазмой атмосферного давления, происходит в первую очередь за счет комбинации диссоциации электронным ударом и ионизации.