@article{Chang Y.-C. 2021-10-10,
author = { Chang Y.-C. ,  Wu P.-Y. ,  Jhuang J.-C. ,  Huang C. },
title = {Оптико-эмиссионный анализ химического осаждения из паровой фазы плазмы метана атмосферного давления},
year = {2021},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Исследованы характерные особенности свечения при низкотемпературном высокочастотном плазмохимическом осаждении из газовой фазы в среде CH4/Ar и его корреляция с характеристиками пленки, полученной плазменным напылением. Данные диагностики оптической эмиссионной спектроскопии и результаты осаждения показали, что во время тлеющего разряда CH4/Ar частицы CH и C2 возникают в результате диссоциации молекул CH4 под действием электронов низкой энергии, которые образуют частицы осаждения. Однако сильные линии излучения Ar связаны с неосажденными частицами, такими как атом аргона. Результаты оптико-эмиссионного анализа показали, что возможный вклад в рост пленки, осажденной плазмой атмосферного давления, происходит в первую очередь за счет комбинации диссоциации электронным ударом и ионизации.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15777},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15731},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}