17 Босак Н. А. Чумаков А. Н. Шевченок А. А. Баран Л. В. Кароза А. Г. Малютина-Бронская В. В. Иванов А. А. Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения высокочастотное лазерное воздействие легированный марганцем оксид цинка структура тонких пленок спектры пропускания и отражения фазовый контраст электрофизические характеристики 2021 2021-05-28 Журнал прикладной спектроскопии Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~10—15 кГц лазерного воздействия с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 150 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированного оксидом марганцем, получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке при давлении в вакуумной камере p = 2.7 Па. Изучены морфология поверхности и элементный состав полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+2% MnO2/Si. https://www.academjournals.by/publication/15698 https://www.academjournals.by/files/15654