%0 article
%A Босак Н. А., 
%A Чумаков А. Н., 
%A Шевченок А. А., 
%A Баран Л. В., 
%A Кароза А. Г., 
%A Малютина-Бронская В. В., 
%A Иванов А. А., 
%T Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения
%D 2021
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~10—15 кГц лазерного воздействия с длиной волны l = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 150 МВт/см2 на керамику из оксида цинка, легированного оксидом марганцем, получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке при давлении в вакуумной камере p = 2.7 Па. Изучены морфология поверхности и элементный состав полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+2% MnO2/Si.
%U https://www.academjournals.by/publication/15698